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静电卡盘生产制造相关专利技术资料汇编


1 防止电弧产生的静电卡盘
2 静电卡盘组件
3 静电卡盘的诊断方法、真空处理装置和存储介质
4 用于等离子体反应器的具有智能升降销机构的静电卡盘
5 静电卡盘装置
6 一种检测半导体晶片从静电卡盘上释放程度的方法
7 用于半导体工件的静电卡盘
8 静电卡盘装置用电极片、静电卡盘装置与吸附方法
9 静电卡盘、基片支持、夹具和电极结构与其制造方法
10 陶瓷静电卡盘组件与其制备方法
11 使用静电卡盘的基板保持机构与其制造方法
12 具有边缘遮蔽和气体清除的静电卡盘晶片端口和顶板
13 包括加热器装置的静电卡盘
14 双极型静电卡盘
15 促进晶片刻蚀均匀的静电卡盘
16 静电卡盘
17 可分区控温的静电卡盘系统
18 一种静电卡盘
19 静电卡盘
20 一种将硅片的中心放置在静电卡盘中心的方法
21 静电卡盘安装拆卸工具
22 快速控制静电卡盘温度系统
23 静电卡盘
24 用于静电卡盘的信号传输装置
25 静电卡盘和具有用于冷却晶片的冷却路径的卡盘座
26 一种静电卡盘
27 供电连接器以与具有该供电连接器的静电卡盘装置
28 极紫外光刻掩模台静电卡盘冷却器
29 夹持基板的静电卡盘以与使用其的液晶显示面板基板粘接装置和方法
30 静电卡盘
31 静电卡盘与其制造方法
32 用于等离子反应器加热静电卡盘的高交流电流、高射频功率的AC-RF退耦滤波器
33 静电卡盘的湿法清洗
34 具有静电卡盘电压反馈控制的双偏置频率等离子体反应器
35 静电卡盘加热器
36 带加热器静电卡盘
37 真空处理装置、静电卡盘的诊断方法与存储介质
38 具有变化厚度、轮廓和的或形状的介电材料和的或空腔的静电卡盘组件、其使用方法与结合有其的装置
39 具有径向温度控制能力的静电卡盘
40 静电卡盘用电极片以与静电卡盘
41 静电卡盘
42 使用超声波振荡和施加的电场对静电卡盘的清洁
43 静电卡盘装置与其温度控制方法
44 双电极静电卡盘
45 静电卡盘
46 静电卡盘
47 静电卡盘装置
48 静电卡盘
49 气体控温的静电卡盘与其控制基片温度的方法
50 交流电压驱动的强森-罗贝克静电卡盘
51 静电卡盘的测温装置
52 静电卡盘工艺组件
53 静电卡盘装置
54 确定静电卡盘的目标台面结构的方法
55 调节静电卡盘支撑件总成的导热系数的方法
56 一种静电卡盘功能测试装置
57 静电卡盘装置
58 一种用于晶片夹持的静电卡盘
59 一种用于晶片夹持的静电卡盘




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