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MEMS技术、微机电传感器、MEMS传感器专利资料大全


1、测量角速率的微机电系统
2、微机电设备中的移动传感器
3、基于微机电技术的微型导航系统
4、基于微机电技术的微型导航装置
5、使用微机电传感器的医疗系统、方法和仪器
6、与微机电系统工艺兼容的参比电极的制备方法
7、利用拉伸应变调节微机电谐振器谐振频率的方法和设备及其应用
8、MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法
9、MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法
10、铁电薄 厚膜微机电致冷器的制备方法及其结构以及致冷器系统
11、具有微机电系统的半导体器件
12、配备有具有MEMS结构的电容补偿器的差分电容型MEMS传感器设备
13、增大压电传感器的行程的方法和利用该方法的MEMS开关
14、一种将CMOS电路与体硅MEMS单片集成的方法
15、光纤微机电系统压力传感器及其制作方法
16、单测试质量块的三轴MEMS传感器
17、灵活振动的微机电设备
18、具有MEMs功能的医疗装置及其制造方法
19、用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置
20、MEMS高温压力传感器自动键合机
21、MEMS压力传感器芯片级老化装置
22、热扩散压阻式MEMS压力传感器芯片级老化方法
23、基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件
24、基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件的制作方法
25、电容式微机电结构声音传感器
26、一种电容式MEMS加速度传感器
27、MEMS加速度地震传感器
28、一种MEMS传感器悬梁结构的制造方法
29、电容差检测电路和微机电系统传感器
30、微机电系统中求系综平均值的传感器重复系统和方法
31、光纤微机电系统压力传感器封装结构
32、一种电容式MEMS加速度传感器
33、MEMS加速度地震传感器
34、带有MEMS结构和具有确定截面的被填充的隔离沟槽的SOI圆片
35、用于进行无线接收和发射的基于MEMS的可调天线
36、在闭环操作中微机电系统反射镜的稳定性
37、基于MEMS的车库门传感器
38、可复位的闩锁MEMS震动传感器装置和方法
39、用于安全应用的MEMS传感器单元
40、利用磁致伸缩效应的可变电感型MEMS压力传感器
41、MEMS高温压力传感器自动键合方法
42、一种扭摆式硅MEMS角加速度传感器
43、具有自动复位系统的逐位鉴别可多次试开的MEMS强链
44、高精度微机电组合惯导装置
45、MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置
46、平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置
47、一种可去除残余硅的体硅MEMS与CMOS电路集成的方法
48、一种基于MEMS的智能服装及其制作方法
49、MEMS传感器的驱动装置及其驱动方法、使用MEMS的有源传感器
50、一种MEMS微型高灵敏度磁场传感器及制作方法
51、用于读取尤其是微机电型电容性传感器的装置和方法
52、低电压MEMS振荡器
53、用于利用微机电系统(MEMS)或其他传感器进行井下流体分析的装置
54、制造微机电元件的方法以及该微机电元件
55、制造微机电元件的方法以及该微机电元件
56、微机电压力传感器
57、用于减小MEMS器件上的薄膜应力的隔离方案
58、弯曲压电式氧化锌纳米棒微电机(MEMS)振动传感器
59、一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器
60、微机电系统磁场传感器及磁场测量方法
61、MEMS光谱气敏传感器
62、微机电声学传感器的封装结构
63、微机电系统压力传感器及其制作方法
64、一种硅MEMS压阻式加速度传感器
65、电声感知微机电系统的超薄型封装结构
66、微机电声学传感器的封装结构
67、矿用隔爆兼本安型触摸屏微机电控柜
68、具有单晶硅电极的电容性微机电传感器
69、容性MEMS传感器设备
70、微机电传感器及其操作方法
71、用于校准基于微机电系统的传感器的方法和系统
72、基于MEMS传感器的插入式流量测量装置
73、基于MEMS异径管流量传感器的液压系统功率测量装置
74、基于MEMS传感器的V锥流量测量装置
75、基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置
76、基于MEMS插入式流量传感器的液压系统功率测量装置
77、基于MEMS技术微型动态压力传感器及其制造方法
78、一种微机电系统磁场传感器及测量方法
79、基于MEMS技术的聚吡咯微型超级电容器及其制造方法
80、MEMS传感器和硅话筒
81、MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法
82、具有基于微机电系统的切换的可编程逻辑控制器
83、一种基于MEMS技术的集成五轴运动传感器
84、微机电元件与制作方法
85、一种基于多MEMS传感器的车辆检测识别系统及其方法
86、MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法
87、基于MEMS工艺的微夹钳及控制系统
88、微机电元件、出平面传感器与微机电元件制作方法
89、MEMS压力传感器及其制作方法
90、包括差动传感器MEMS器件和带孔衬底的电子器件
91、具有MEMS惯性感测及内置数字电子元件的集成式移动处理单元(MPU)
92、导电纳米膜及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器
93、具有集成保护性流槽的耐用MEMS流量裸片
94、用于流量传感器的MEMS结构
95、微机电传感器与制作方法
96、谐振式微机电系统磁场传感器及测量方法
97、一种微机电系统热式流量计
98、微机电系统的微型化磁通门传感器
99、一种超小型MEMS陀螺仪传感器的制造方法
100、一种高深宽比碳微机电器件的制备方法
101、微机电矢量水听器
102、MEMS水平谐振式磁强计
103、CMOS MEMS兼容光谱式气敏传感器
104、基于阵列波导分光的红外光谱式MEMS气敏传感器
105、一种用于MEMS动态特性测试的底座激励装置
106、MEMS水平谐振式磁强计
107、微机电声学传感器封装结构
108、基于MEMS加速度计的无线地震警报
109、基于复合MEMS传感器的控制器指针定位方法及控制器
110、基于微机电系统技术的粘度传感器芯片及其制备方法
111、基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法
112、适用于微机电传感器的质量体与使用该质量体的三轴微机电传感器
113、微机电系统传感器及微机电系统传感器的制造方法
114、基于MEMS的传感器自供电电路及其制造工艺
115、三维MEMS地震检波器芯片及其制备方法
116、基于MEMS的平面振动双螺旋压电换能器
117、一种基于MEMS技术的微液量计量装置及其方法
118、MEMS热膜传感器和IC电路单片集成的方法
119、基于MEMS加速度计的智能手写系统及其识别方法
120、用于微机电系统传感器的弹性构件
121、封装MEMS-晶片的方法和MEMS-晶片
122、生物微机电系统传感器、设备及其方法
123、压电MEMS麦克风
124、MEMS传感器
125、用于地震采集系统的基于MEMS的电容传感器
126、一种MEMS光谱仪运动补偿系统及方法
127、一种基于MEMS传感器的脉象诊断分析仪
128、微机电传感器、其制造方法以及电子设备
129、MEMS传感器
130、一种MEMS红外发射式气敏传感器
131、多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器
132、压电双晶片式MEMS能量采集器及其制备方法
133、微机电系统中压阻式压力传感器多晶硅横隔膜及形成方法
134、MEMS传感器、电子设备
135、MEMS压敏传感器件的制作方法
136、MEMS加速度传感器
137、MEMS微传感器的封装结构及其制造方法
138、惯性微机电传感器及其制造方法
139、基于复合MEMS传感器的控制器及其手势控制按键方法
140、带温度测量的微机电动机保护监控装置
141、具有红外线聚焦功能的MEMS红外传感器的封装方法
142、MEMS传感器在应用环境下使用可靠度的确定方法
143、一种具有多个共面电极一体结构的MEMS加速度传感器及其制造方法
144、MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器及其制备方法
145、MEMS固支梁式在线微波功率传感器及其制备方法
146、集成微机电系统(MEMS)传感器设备
147、MEMS传感器、硅麦克风以及压力传感器
148、一种MEMS复合微能源系统电源
149、GNSS辅助MEMS惯性传感器零偏的快速在线动态标定方法
150、MEMS传感器及制造方法及薄膜、质量块与悬臂梁的制造方法
151、一种微机电电容式角速度传感器及其制作方法
152、可同时量测加速度及压力的微机电传感器
153、矩形硅薄膜微机电压力传感器
154、圆形硅薄膜微机电压力传感器
155、MEMS压力传感器
156、基于MEMS的小波域多传感器信息融合系统及融合方法
157、一种复合式MEMS耐高温超高压力传感器
158、一种单片集成SiC MEMS压力传感器及其制备方法
159、MEMS陀螺仪及其芯片级温控方法和加工方法
160、MEMS数字地震检波器
161、基于硅MEMS敏感结构融合光学检测技术的微光机电传感器及其应用方法
162、惯性微机电传感器及其制作方法
163、使用芯片互连层的振动MEMS谐振器的热传感器
164、基于RTS的MEMS面内高g加速度传感器
165、时分复用微机电系统块状流体传感器及其工作方法
166、微机电传感器的形成方法
167、MEMS筒式耐高温超高压力传感器
168、一种基于MEMS的机床主轴动刚度的测试方法
169、带温度测量的微机电动机保护监控装置
170、一种带无线温度测量的微机电动机保护监控装置
171、基于热损失工作方式的矩形硅薄膜微机电压力传感器
172、基于热损失工作方式的圆形硅薄膜微机电压力传感器
173、MEMS陀螺仪
174、用于微机电系统传感器的微机电系统应力集中结构
175、MEMS装置和利用该MEMS装置的远程传感系统
176、微机电传感器
177、用于测定绕x轴、y轴和 或z轴的旋转运动的MEMS陀螺仪
178、驱动频率可调的MEMS陀螺仪
179、垂直集成的MEMS加速度变换器
180、一种用于检测加速度和旋转速度的方法及微机电传感器
181、光学MEMS装置和利用该光学MEMS装置的远程传感系统
182、用于三明治结构MEMS硅电容压力传感器侧墙保护方法
183、MEMS压力传感器及其制作方法
184、MEMS麦克风与压力集成传感器及其制作方法
185、MEMS压力传感器及其制作方法
186、集成MEMS器件及其形成方法
187、MEMS惯性传感器及其形成方法
188、基于MEMS加速度计的玻窗清洁装置
189、一种压电厚膜驱动的横向MEMS微驱动器及其制作方法
190、微机电传感器装置
191、微机电磁传感器
192、SAW-MEMS加速度传感器及制作方法
193、微机电传感器及其形成方法
194、包含非对称生物活性区的微机电磁性生物传感器
195、微机电磁性生物传感器
196、一种MEMS微加速度传感器及其应用
197、具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及制备方法
198、MEMS高量程加速度传感器的封装方法
199、基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器
200、MEMS模拟检波器机芯
201、一种MEMS压阻式拉压力芯片及传感器的制作方法
202、MEMS压力传感器件及其制造方法
203、基于MEMS技术的无线传输可植入对称结构压力传感器
204、一种改进的微机电系统平台圆片级封装结构
205、基于声光效应的MEMS微型加速度传感器
206、玻璃管与MEMS芯片气密性烧结装置
207、一种新型MEMS仿生声矢量传感器及其加工方法
208、一种基于MEMS技术的热扩散率传感器芯片及其制备方法
209、微机电的元件以及用于制造这样的微机电的元件的方法
210、一种测量相变存储器应力的MEMS传感器及其制备工艺
211、MEMS热式流量传感器
212、具有线性驱动 拾取的MEMS垂直梳状结构
213、使用多层能移动梳状物的MEMS传感器
214、SAW-MEMS加速度传感器
215、微机电传感器
216、MEMS模拟检波器机芯
217、一种微机电热导式低浓甲烷气体传感器
218、一种电容式MEMS压力传感器
219、一种基于MEMS加速度计的便携式倾角传感器
220、一种电容式微机电超声传感器及其制作方法
221、带弯曲聚焦的电容式微机电超声传感器的制作方法
222、MEMS质量流量传感器
223、具有折叠扭力弹簧的MEMS传感器
224、具有双检验块的MEMS传感器
225、基于MEMS技术的阵列式气味检测元件
226、一种电热式MEMS微镜系统
227、多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统
228、基于柔性MEMS技术的三维流体应力传感器及其阵列
229、基于寄生电容调节的高精度温度补偿MEMS振荡器
230、MEMS麦克风电路、上位机电路以及进入编程模式的方法
231、微机电系统压力传感器的制作方法
232、基于石墨烯的MEMS声学传感器
233、一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置
234、一种基于MEMS加工工艺的柱面电容传感器
235、微机电元件、出平面传感器与微机电元件制作方法
236、新型CMOS-MEMS兼容的非制冷红外传感器晶圆级封装方法
237、一种复合式MEMS密度传感器
238、单片集成MEMS压阻超声传感器

微机电技术国外专利资料

239、MEMS structure with a flexible membrane and improved electric actuation means
240、A superfilling secondary metallization process in MEMS fabrication
241、Selective UV-ozone dry etching of anti-stiction coatings for MEMS device fabrication
242、Lid, fabricating method thereof, and MEMS package made thereby
243、MEMS integrated chip and method for making same
244、Fabricating method of single chip for intergating with field-effect transistor and MEMS
245、Silicon-rich nitride etch stop layer for vapor HF etching in MEMS device fabrication
246、CMOS-MEMS cantilever structure
247、Micro-electro-mechanical systems MEMS, systems and operating methods thereof
248、Method for dicing a MEMS wafer
249、MEMS process and device
250、Microelectromechanical system MEMS device and methods for fabricating the same
251、Fixture and method for vibration or shock testing of MEMS component
252、MEMS microphone packages and fabrication methods thereof
253、MEMS chip package and method for making the same
254、Package structure having MEMS element and method of making the same
255、MEMS microphone and manufacturing method of the same
256、Method of making a lid member of MEMS devices
257、Method for forming a lid member on MEMS device
258、Method of fabricating a MEMS microphone
259、MEMS microphone package and packaging method
260、Selective UV-ozone dry etching of anti-stiction coatings for MEMS device fabrication
261、Silicon-rich nitride etch stop layer for vapor HF etching in MEMS device fabrication
262、METHOD OF FORMING MONOLITHIC CMOS-MEMS HYBRID INTEGRATED, PACKAGED STRUCTURES
263、Micro-electro-mechanical systems MEMS, systems and operating methods thereof
264、A superfilling secondary metallization process in MEMS fabrication
265、Fabricating method of single chip for intergating with field-effect transistor and MEMS
266、CMOS-MEMS cantilever structure
267、Microelectromechanical system MEMS device and methods for fabricating the same
268、MEMS microphone package and packaging method
269、RIVE LOOP FOR MEMS OSCILLATOR
270、tatic Stray Light Removal for MEMS Feed Optics in a Scanned Beam Display
271、ETHOD AND SYSTEM FOR PACKAGING MEMS DEVICES WITH INCORPORATED GETTER
272、EMS INTEGRATED CIRCUIT HAVING BACKSIDE CONNECTIONS TO DRIVE CIRCUITRY VIA
273、EMS ACCELEROMETER DEVICE
274、EMS Tunneling Accelerometer
275、EMS MICROPHONE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
276、ETHOD OF MOUNTING MEMS INTEGRATED CIRCUITS DIRECTLY FROM WAFER FILM FRAME
277、AFETY AND ARMING DEVICE FOR PROJECTILES INERTIAL LOCK WITH MEMS
278、ETHODS FOR MAKING IN-PLANE AND OUT-OF-PLANE SENSING
279、EMS RESONATOR DEVICES
280、URFACE MOUNT MEMS DEVICE STRUCTURE AND FABRICATING METHOD THEREOF FOR
281、urgical Instrument Including MEMS Devices
282、NTERCONNECT FOR MEMS DEVICE INCLUDING A VISCOELASTIC SEPTUM
283、nergy harvesting using RF MEMS
284、EMS barcode device for monitoring medical systems at point of care
285、MEMS-BASED APERTURE AND SHUTTER
286、ETHOD FOR FABRICATING A FIXED STRUCTURE DEFINING A VOLUME RECEIVING A
287、IGH ACCURACY BATTERY-OPERATED MEMS MASS FLOW METER
288、NTEGRATED ELECTROMAGNETIC ACTUATOR, IN PARTICULAR ELECTROMAGNETIC
289、EMS ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
290、EMS CAPACITIVE MICROPHONE
291、ICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) PACKAGE
292、EMS TRANSDUCER DEVICE HAVING STRESS MITIGATION STRUCTURE AND METHOD OF
293、ICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) RESONATOR AND MANUFACTURING METHOD
294、PTOMECHANICAL MEMS DEVICE
295、EMS CAPACITIVE MICROPHONE
296、EMS SWITCH AND COMMUNICATION DEVICE USING THE SAME
297、ICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) CARRIER AND METHOD OF FABRICATING THE
298、lectronic Device Including MEMS Devices And Holed Substrates, In
299、HREE DIMENSIONAL FOLDED MEMS TECHNOLOGY FOR MULTI-AXIS SENSOR SYSTEMS
300、MEMS GAS SENSOR
301、EMS OSCILLATOR
302、ETHOD AND APPARATFOR MEMS OSCILLATOR
303、DJUSTABLY TRANSMISSIVE MEMS-BASED DEVICES
304、EMS Device and Fabrication Method
305、EMS DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING MEMS DEVICE
306、EMS BIAXIAL RESONANT ACCELEROMETER
307、ethod for producing MEMS structures, and MEMS structure
308、XIDE MEMS BEAM
309、TTITUDE ESTIMATION FOR PEDESTRIAN NAVIGATION USING LOW COST MEMS
310、pparatand Method for Anchoring Electrodes in MEMS Devices
311、EMS SWITCHES AND FABRICATION METHODS
312、ETHOD AND STRUCTURE OF MONOLITHICALLY INTEGRATED IC-MEMS OSCILLATOR USING
313、EMS DEVICE AND MANUFACTURING METHOD
314、EMS-BASED OPTICAL IMAGE SCANNING APPARATUS, METHODS, AND SYSTEMS
315、EMS DEVICE FABRICATED ON A PRE-PATTERNED SUBSTRATE
316、AFER LEVEL PACKAGING PROCESS FOR MEMS DEVICES
317、afer Level Structures and Methods for Fabricating and Packaging MEMS
318、EMS MOEMS SENSOR DESIGN
319、EMS SENSOR WITH FOLDED TORSION SPRINGS
320、EMS SENSOR WITH DUAL PROOF MASSES
321、ICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE AND METHOD OF
322、EMS RESONATOR
323、RCHITECTURE FOR PIEZOELECTRIC MEMS DEVICES
324、ptimal Leg Design for MEMS Resonator
325、ETHODS AND SYSTEMS FOR MEMS CMOS PROGRAMMABLE MEMORIES AND RELATED
326、EMS Particle sorting actuator and method of manufacturing
327、artridge for MEMS particle sorting system
328、ltrananocrystalline Diamond Films with Optimized Dielectric Properties
329、F-MEMS Capacitive Switches With High Reliability
330、EMS DEVICE AND METHOD FOR FORMING THE SAME
331、APACITANCE TYPE MEMS SENSOR
332、EMS DEVICE WITH INTEGRAL PACKAGING
333、USTOMIZED RF MEMS CAPACITOR ARRAY USING REDISTRIBUTION LAYER
334、ETHOD AND SYSTEM FOR TESTING OF MEMS DEVICES
335、IMULTANEOPHASE AND AMPLITUDE CONTROL USING TRIPLE STUB TOPOLOGY AND
336、EMS-BASED LEVERS AND THEIR USE FOR ALIGNMENT OF OPTICAL ELEMENTS
337、ETHOD AND APPARATFOR IMPROVING SHOCK RESISTANCE OF MEMS STRUCTURES
338、ELF-HEATED MEMS BASED CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE
339、Microelectromechanical system MEMS device and methods for fabricating the same
340、Selective UV-ozone dry etching of anti-stiction coatings for MEMS device fabrication


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中国银行:账 号:60138 25000 00666 3025 收款人:姜超
邮政储蓄:账 号:60122 1008 2000 22049  收款人:姜超
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